MEMS展2027中国(成都)国际微纳制造产业展览会

• 参展日期：2027/7/7~结束日期：2027/7/9
• 报名截止：2027/7/1
• 参展地(展馆)：成都世纪城新国际会展中心
• 批准单位：
• 主办单位：上海邺闻展览服务有限公司
• 承办单位：
• 支持协办单位：

微纳制造是在微米、纳米尺度实现材料改性、微结构加工与器件集成的基础制造技术，脱胎于微电子加工工艺，融合精密机械、材料科学、光学、生物工程等多学科理论，是支撑各类微型智能器件落地的底层共性技术。伴随全球制造业向小型化、集成化、智能化转型，微纳制造不再局限于半导体芯片加工，逐步成长为跨多产业的平台型制造体系，而国内微纳制造产业，正是在制造业转型升级与新质生产力培育的大背景下，逐步完成从基础研究向产业化应用的跨越。国内微纳领域的早期发展，以高校与科研院所的基础探索为主。很长一段时期内，相关研究集中在实验室层面，工艺验证、样品试制是主要工作方向，产业化落地节奏缓慢，产业链配套分散，多数高端微纳器件、核心加工工艺高度依赖海外成熟体系。彼时国内产业更多聚焦于下游器件的封装与应用，上游微纳加工装备、特种工艺材料、精密检测环节存在明显断层，科研成果与工业量产之间存在较大鸿沟，大量创新技术难以走出实验室，难以形成规模化的产业价值。
随着国内高端制造战略持续推进，集成电路、智能感知、生物医药等下游产业需求集中释放，微纳制造的战略价值被重新认知。市场端对微型传感器、微光学元件、微流控芯片、光子器件的需求持续兴起，倒逼产业打通从设计、微纳加工、薄膜制备到键合封装的完整链条。各类国家级创新平台、产业研究院与公共微纳加工中试平台陆续布局，面向行业开放微纳工艺代工服务，有效降低中小创新企业的研发门槛，改变过去企业自建产线投入巨大、周期漫长的局面，为技术商业化提供了重要载体。产业生态的完善，带动国内微纳制造的应用边界持续拓宽。作为感知器件的核心工艺载体，微纳制造支撑MEMS传感器产业成长，面向汽车、工业装备、消费电子、光电子、生物医药的各类微型惯性、压力、声学传感器件，依靠微纳加工实现结构微型化与单片集成。此同时，新能源、航空航天、环境监测领域也不断产生新需求，利用微纳结构改良材料性能，开发耐高温、高灵敏度的特种器件，进一步拉动微纳工艺迭代升级。
尽管产业整体处于快速成长阶段，国内微纳制造产业发展依然面临诸多深层次挑战。高端微纳加工装备、特种光刻与刻蚀配套材料、高精度表征检测工具等环节，产业化成熟度仍有待提升。部分复杂三维微结构、异质集成工艺的量产稳定性不足，先进工艺的良率控制能力与国际先进水平存在差距。产业链协同机制仍有完善空间，上下游之间的标准对接、联合开发的深度不足，专业复合型人才供给缺口长期存在。未来新质生产力的发展将持续为微纳制造产业带来新的发展机遇。人工智能、自动驾驶、生命科学、低空装备等新兴赛道，会持续催生更多新型微纳器件需求，反过来牵引微纳工艺持续创新。产业发展重心，将逐步从单点工艺突破转向全链条能力建设，异构集成、三维微纳加工、柔性微纳器件等方向，会成为行业重点探索方向。随着技术、资本、人才要素持续汇聚，国内微纳制造产业将持续夯实底层制造能力，不断拓展技术应用场景，在全球微纳产业格局中持续提升产业竞争力，成为支撑我国高端制造业创新发展的重要底层力量。
本次展览会秉持专业化、国际化、品牌化发展理念，倾力打造微纳制造领域极具影响力的高端行业盛会。展会获得权威行业机构深度赋能，凭借主题鲜明、务实高效、持续创新的办展特色，不断扩大行业知名度与全球影响力，已成为业内汇聚产业资讯、研判市场趋势、展示品牌实力、拓展商贸渠道、对接供需资源的核心国际化平台。卓越的办展品质与高效商贸服务，收获参展企业与专业观众的广泛认可。成渝是国内电子信息、MEMS传感器与光电产业重要增长极，微纳制造市场需求旺盛，产业配套完善。展会聚焦微纳制造全产业链创新发展，覆盖微纳加工装备、光刻刻蚀设备、薄膜沉积、键合工艺、纳米功能材料、微纳检测方案、MEMS器件、微传感器、微光学元件、微流控芯片、微系统模组等领域，为海内外企业搭建贸易合作、技术交流、资源互通的桥梁。助力优质微纳制造产品对接全球采购资源，促进国内外产业协同创新、优势互补、互利共赢，加速高端微纳制造技术落地与国产化进程，全力推动中国微纳制造产业高质量、国际化、可持续发展。
展会同期将举办“全国微纳制造产业创新发展高峰论坛”，围绕微纳制造产业政策解读、算力与汽车电子领域微纳器件创新应用、MEMS与微传感器及微系统技术研发、微纳加工工艺与数字化产线建设、绿色低碳制程发展等热点议题展开深度研讨。大会将邀请行业主管领导、头部工厂技术专家、科研院校学者、产业链龙头企业代表及行业机构大咖齐聚现场，通过主题演讲、圆桌对话、技术分享、案例交流等形式，聚焦行业技术革新与供应链模式升级，深度剖析微纳制造产业发展痛点与未来趋势。会议旨在搭建产学研用一体化高端交流平台，加速前沿技术成果转化与落地应用，推动行业标准化、规范化、智能化升级，为参会企业、技术研发人员及从业人士提供权威的行业资讯、技术赋能与精准对接机遇，助力微纳制造行业高质量创新

1、MEMS器件：光学MEMS；射频MEMS；MEMS物理传感器 (加速传感器、速率传感器、压力传感器、气体传感器、温度传感器)；微射流（微流引导、微感应器等）；MEMS执行器；MEMS电能（燃料电池、微发电机等）；高复合型MEMS (CMOS/MEMS、LSI/MEMS 一体化)。
2、MEMS代工服务：仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀等。
3、MEMS应用：超微型机械人装置、微型工厂等；传感器网络；能量收集等。
4、MEMS加工设备：薄膜成形（汽相淀积、溅射、CVD、覆镀；曝光系统、蚀刻技术；防腐处理；刻蚀；晶圆键合；切割；芯片/导线焊接；封装；微成形 (注射、热压)；其他生产设备。
5、分析与检测仪器：光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统等。
6、纳米机械微制程技术：超精度纳米机械工艺；超精密加工、微制造；表面微加工；精细钻孔；微观切割；雷射、离子脉冲加工；聚焦离子束系统；微放电加工；超声波设备等。
7、纳米压印技术：微纳米模型；纳米压印生产设等备。
8、生物技术与医疗应用：MEMS在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNA&RNA 技术、微反应器、微流引导、生物/化学MEMS（DNA/RNA技术、化学检测）等。